Activation of getter films for MEMS packaging studied by in situ NRA - Université de Toulon Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2022

Activation of getter films for MEMS packaging studied by in situ NRA

Philippe Coste
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1180734
Johan Moulin
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1083351
Abstract NRA in situ IVC22_JMo.pdf (322.03 Ko) Télécharger le fichier
Origine Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Dates et versions

hal-03836025 , version 1 (01-11-2022)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03836025 , version 1

Citer

Clément Bessouet, Charaf-Eddine Bejjit, Charlotte Kutyla, Sylvain Lemettre, Alain Bosseboeuf, et al.. Activation of getter films for MEMS packaging studied by in situ NRA. 22nd International Vacuum Congress, Sep 2022, Sapporo, Japan. ⟨hal-03836025⟩
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